半導(dǎo)體專用厭氧烤箱安保功能：

 短路保護(hù)、漏電保護(hù)、超溫保護(hù)、電機(jī)過(guò)電流保護(hù)、電磁門禁保護(hù)。

半導(dǎo)體專用厭氧烤箱用途：

精密無(wú)氧烘箱應(yīng)用于精密電子元件、PI、BCB、LCP固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料烘干的特殊工藝要求，模擬線性升降溫環(huán)境，特別適合半導(dǎo)體制造、COB封裝、醫(yī)療衛(wèi)生、柔性線路板印刷、精密模具煺火等行業(yè)的無(wú)氧化干燥烘烤工藝要求，廣泛應(yīng)用于電子產(chǎn)品、五金制品、醫(yī)療衛(wèi)生、儀器儀表、工廠、高等院校、科研等行業(yè)。

1. 溫度范圍：RT+50～450℃，常用溫度≤400℃；

2. 內(nèi)箱尺寸：450×450×450mm（寬×深×高）；

3. 控溫模式：曲線升溫

4. 降溫方式：水冷、風(fēng)冷；

5. 氧含量：≤20ppm;

6. 控溫穩(wěn)定度：±1℃；

7. 溫度均勻度：≤±1.5%℃；