硅片充氮烘箱，可程式充氮烤箱概述

硅片充氮烘箱，半導體充氮烤箱?是一種提供高溫凈化環(huán)境的特殊潔凈烘干設備。箱內空氣封閉自循環(huán)。烘箱工作室為光亮型全不銹鋼結構。工作室內溫度采用智能式數顯溫度控制儀進行自動控制P.I.D調節(jié),數顯時間控制,并設有斷路及超溫報警,操作方便,使用安全。 充氮烤箱可滿足電子電器、醫(yī)藥、實驗室等生產及科研部門中凈化干燥。特殊要求溫度可達350℃-400℃并且可加裝氮氣進出口。

硅片充氮烘箱，可程式充氮烤箱用途

潔凈烘箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、醫(yī)藥、實驗室等生產及科研部門。

技術參數

Ø  內箱分層：根據箱體內部大小而定

Ø  溫度范圍：RT＋10℃～250℃。

Ø  溫度波動：<±1℃。

Ø  溫度均勻：±2%（空載測試）。

Ø  溫控裝置：高精度P.I.D智能溫控儀表， LED數字顯示及設定、P.I.D自動演算、時間定時。

Ø  溫控輸出：SSR輸出，品牌繼電器，固態(tài)繼電器。                   

Ø  測溫裝置：PT100 鉑 電阻溫度傳感裝置，測溫精確。

Ø  內室材料：采用無磁性不銹鋼；外箱采用 SS41# 中碳鋼板經磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆，可防止微塵(PARTICLE) 。

Ø  保溫材料：玻璃纖維。

Ø  保護裝置：超溫保護器，無熔絲開關。

Ø  流 量 計：氮氣轉子流量計

晶圓充氮潔凈烘箱

一. 概述

充氮潔凈烘箱是一種提供高溫凈化環(huán)境的特殊潔凈烘干設備。烘箱整機為不銹鋼結構，全部采用無塵材料，箱內持續(xù)充氮，使烘箱工作室內處于潔凈狀態(tài)。工作室內溫度由溫控儀自動控制，并有自動恒溫及時間控制裝置，并附設有超溫自動停電及報警電路，控制可靠，使用安全。適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、醫(yī)藥、實驗室等生產及科研部門。

二．特點

1、全周氬焊，耐高溫硅膠迫緊，SUS304＃不銹鋼電熱產生器，防機臺本身產生微塵；
2、耐高溫，可以達到和工作場所同樣的潔凈等級；

三.技術參數

1、主要技術指標

Ø  溫度范圍： RT（室溫）+10～200℃；

Ø  溫度偏差：≤±2.0℃；

Ø  升溫速度：≥2℃/min；

Ø  潔凈等級：千級以上

Ø  計時功能：具有獨立的計時器，計時開關，計時報警器