HMDS烘箱真空泵，HMDS烘箱無油泵

真空干泵具有 <50dBA)和低振動運行的，

密封設(shè)計(真空區(qū)與電機(jī)和軸承全隔開) 可提供潔凈的泵內(nèi)氣體環(huán)路;從而消除了油或油脂帶來的污染風(fēng)險。

極限壓力：1.33 x 102 mbar (1 x 102Torr)

最大入口壓力：1.0 個大氣壓(0 psig)

冷卻 方式：風(fēng)冷

泵凈重: 34 q (75 bs);含包裝: 45 kg(100bs)

尺寸 (高x寬x長(mm))：364x 333x 485

泄漏速度(密封排氣口時)：< 1 x 10° sccs (1 x 10 mbar.l/s)

HMDS烘箱真空泵，HMDS烘箱無油泵用途

HMDS烘箱的作用

    HMDS烘箱是將HMDS蒸汽通過干燥的真空腔內(nèi)加熱到一 定溫度，在襯底表面上HMDS作為單層膜進(jìn)行化學(xué)結(jié)合，使這樣的襯底表面具有疏水性。從而增強(qiáng)光刻與襯底表面的粘附性。

HMDS烘箱性能

溫度范圍：RT+10-250℃

真空度：≤1torr

控制儀表：彩色觸摸屏控制，操作更加簡單，方便

HMDS工藝：蒸汽氣相涂布

安全檢測：超溫保護(hù)，HMDS泄漏檢測提示

儲液瓶：HMDS儲液瓶 

真空泵：無油渦旋真空泵

工作室（mm）：300*300*300/450*450*450、定制