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HMDS專用烘箱，HMDS真空涂膠系統(tǒng)適用行業(yè)：MEMS、濾波、放大、功率等器件，晶圓、玻璃、貴金屬，SiC(碳化硅)、GaN(氮化鎵)、ZnO（氧化鋅）、GaO（氧化鎵）、金剛石等第三代半導(dǎo)體材料。

HMDS增粘劑烘箱，HMDS涂膠機(jī)即HMDS(六甲基二硅烷)增粘劑氣相涂布，涂膠工藝的配置機(jī)臺(tái)。

OAP烘箱，OAP處理烘箱處理主要是為了改善親水性表面，變?yōu)槭杷?，從而達(dá)到增加光刻膠粘附性的作用。

HMDS蒸鍍烤箱，可程式HMDS機(jī)臺(tái)通過(guò)對(duì)烘箱預(yù)處理過(guò)程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料預(yù)處理及相關(guān)行業(yè)

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silicon wafer HMDS烤箱，HMDS OVEN1、預(yù)處理性能更好 2、處理更加均勻 3、效率高 4、更加節(jié)省藥液 5、更加環(huán)保和安全 6、低液報(bào)警裝置 7、可自動(dòng)吸取HMDS功能 8、可自動(dòng)添加HMDS功能 9、HMDS藥液泄漏報(bào)警功能 10、HMDS緊急疏散功能 11、數(shù)據(jù)記錄打印功能